意德士真空吸盤，幫半導體巨人穩住良率！ | 全台上櫃股票資訊網

2020年12月15日—意德士以關鍵「吸盤」提高曝光製程良率，獲全球最大晶圓代工廠採用，更是唯一...巨人辦不到的事，正是台灣零組件供應鏈的關鍵成長機會。...今年8月，艾司摩爾宣布在台南成立全球技術培訓中心，台積電晶圓廠營運副總經理...製程專用的真空吸盤，同時也代理銷售、維修蝕刻、薄膜製程使用的靜電吸盤。

即使是半導體設備巨人，也無法在跨步前進時，所向披靡地清除所有路障。巨人辦不到的事，正是台灣零組件供應鏈的關鍵成長機會。

艾司摩爾（ASML）是荷蘭半導體設備大廠，2019年產品銷售額排全球第二高，其中最知名的產品EUV光刻機（極紫外光曝光機，lithography machine）擁有8成市占率，一台機器動輒新台幣30億元，是研發7奈米以下先進製程的必備產品。

今年8月，艾司摩爾宣布在台南成立全球技術培訓中心，台積電晶圓廠營運副總經理王英郎致詞時點出：「有了它（EUV），才能讓相同尺寸的晶片放入更多電晶體，從1億顆成長到100億顆。」

硬體評論網站AnandTech認為，光台積電可能就安裝了全球過半EUV光刻機。再從艾司摩爾年報看，去年銷售額有51％都賣給台灣業者，全年EUV出貨26台，推估台積電約占20台，顯示雙方緊密關係。

「一間公司再怎麼強，也不會什麼都做。」意德士科技董事長闕聖哲形容，艾司摩爾就像賓士原廠，能打造頂級S-Class車款，卻沒有自己生產輪胎。而意德士就像專門生產輪胎的企業，能滿足半導體企業客製需求，讓他們開車速度更快。

闕聖哲口中的獨門輪胎，指的是半導體曝光製程中常用的「真空吸盤」，原先只是用來固定矽晶圓。

2009年，某晶圓代工大客戶發現光刻機不夠精準、影響良率，當時光刻機供應商Nikon、Canon、艾司摩爾都無法解決問題，便找上意德士想辦法。

意德士以演算法模擬出真空吸盤的最佳「曲度」，提高了晶圓曝光中的良率，雙方也一路自10奈米製程合作到3奈米製程。

闕聖哲指出，隨著每一代半導體製程往前突破，光刻機還是必須將光源準確打在愈來愈小的線徑上，不能因為光線的物理特性有所偏移。而既然「打光」設備有技術天花板，客戶只好將腦筋動到固定晶圓的吸盤底座上。

闕聖哲解釋，像艾司摩爾這樣的設備巨人，在全球賣機台時，著重的是產品標準化、規格化帶來的高毛利，就算是最大客戶...